Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου
Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ.
Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου Νικολάου Σ. Σπηλιόπουλου - Πάτρα 1997 - 224, xviii p. σχήμ. 29 cm
Περιλαμβάνει βιβλιογραφία
Χημική τεχνολογία--Πλάσμα
Χημικοί αντιδραστήρες
660.044
Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου Νικολάου Σ. Σπηλιόπουλου - Πάτρα 1997 - 224, xviii p. σχήμ. 29 cm
Περιλαμβάνει βιβλιογραφία
Χημική τεχνολογία--Πλάσμα
Χημικοί αντιδραστήρες
660.044